Nanofabrication
Equipements
Lithographie par faisceau d'électrons
Raith Pioneer e-line
Lithographie UV
SUSS MicroTec MJB4
Evaporateur thermique ou par faisceau d'électrons
Plassys MEB 400
Evaporateur thermique ou pulvérisation cathodique (DC)
Plassys MEP 300
Evaporateur thermique ou par faisceau d'électrons, canon à ions
Elettrorava
Pulvérisation cathodique (DC et RF)
Plassys MP 300
Gravure ionique réactive
Oxford PLASMALAB SYSTEM100
Caractéristiques
-Taille échantillon max 2“
- Platine interférométrique laser
- Déplacement max 50 x 50 mm
- Résolution 20 nm
- Tension max 30 keV
Résolution max : 400 nm
Taille d'échantillon : wafer 2''
Alignement optique : +/- 1μm
Transfert de motifs dans la plage allant du micro au nanomètre
Taille échantillon : 4''
Vide : 10-8 mbar
Porte échantillon tournant
Support pour fibres optiques
Taille échantillon : 2''
Vide : 10-7 mbar
Porte échantillon chauffant
Taille échantillon : 4''
Vide : 10-8 mbar
Porte échantillon chauffant tournant
Porte échantillon refroidi
Taille échantillon : 2''
Vide : 10-7 mbar
Porte échantillon chauffant
Taille échantillon : 2''
Vide : 10-7 mbar
Porte échantillon thermostaté (0-80°C)
Utilisations
Nanofabrication (écriture à l’échelle nanométrique)
Impression de microstructures
Au, Cr, Ti, Ni, Al, Cu, Ag, Pd, Fe, Ge
Au, Cu, Cr
Gaz plasma : Ar, N2
Tous métaux (Au, Cr, Ti, Ni, Al…)
Oxydes
Canon à ions : Ar, N2, O2
Ti, SiO2, ITO, Ta, Ag, Cu
Gaz plasma : O2, Ar, N2
Gravure chimique
Gravure physique
Gaz: Ar, O2, N2, SF6, CF4
Les équipements d’élaboration et de caractérisation sont mis à disposition dans le cadre de projets nationaux et européens, ainsi qu’à l’ensemble de la communauté scientifique (centres de recherche publics et privés, laboratoires universitaires, entreprises privés, SATT…) par le biais de prestations de service ou de droits d’accès après formation.
Ces équipements sont répartis en 3 pôles : Couches minces, Lithographies et Gravures, Caractérisations Nanofab
Pour plus de détails:
https://icb.u-bourgogne.fr/centre-de-nanofabrication-cnf/
Pour plus d'information sur la nanofabrication, cliquer ICI pour télécharger le contenu
