Nanofabrication

Equipements  

Lithographie par faisceau d'électrons

Raith Pioneer e-line  

 

Lithographie UV

SUSS MicroTec MJB4  

 

Evaporateur thermique ou par faisceau d'électrons

Plassys MEB 400  

Evaporateur thermique ou pulvérisation cathodique (DC)

Plassys MEP 300  

Evaporateur thermique ou par faisceau d'électrons, canon à ions

Elettrorava  

 

Pulvérisation cathodique (DC et RF)

Plassys MP 300  

 

Gravure ionique réactive

Oxford PLASMALAB SYSTEM100  

Caractéristiques  

-Taille échantillon max 2“

- Platine interférométrique laser

- Déplacement max 50 x 50 mm

- Résolution 20 nm

- Tension max 30 keV  

Résolution max : 400 nm

Taille d'échantillon : wafer 2''

Alignement optique : +/- 1μm

Transfert de motifs dans la plage allant du micro au nanomètre  

Taille échantillon : 4''

Vide : 10-8 mbar

Porte échantillon tournant

Support pour fibres optiques  

Taille échantillon : 2''

Vide : 10-7 mbar

Porte échantillon chauffant

 

Taille échantillon : 4''

Vide : 10-8 mbar

Porte échantillon chauffant tournant

Porte échantillon refroidi  

Taille échantillon : 2''

Vide : 10-7 mbar

Porte échantillon chauffant  

Taille échantillon : 2''

Vide : 10-7 mbar

Porte échantillon thermostaté (0-80°C)  

Utilisations

 

Nanofabrication (écriture à l’échelle nanométrique)  

 

Impression de microstructures  

 

Au, Cr, Ti, Ni, Al, Cu, Ag, Pd, Fe, Ge  

 

Au, Cu, Cr

Gaz plasma : Ar, N2  

 

Tous métaux (Au, Cr, Ti, Ni, Al…)

Oxydes

Canon à ions : Ar, N2, O2  

 

Ti, SiO2, ITO, Ta, Ag, Cu

Gaz plasma : O2, Ar, N2  

 

Gravure chimique

Gravure physique

Gaz: Ar, O2, N2, SF6, CF4  

Les équipements d’élaboration et de caractérisation sont mis à disposition dans le cadre de projets nationaux et européens, ainsi qu’à l’ensemble de la communauté scientifique (centres de recherche publics et privés, laboratoires universitaires, entreprises privés, SATT…) par le biais de prestations de service ou de droits d’accès après formation.

 

Ces équipements sont répartis en 3 pôles : Couches minces, Lithographies et Gravures, Caractérisations Nanofab

Pour plus de détails:

 

https://icb.u-bourgogne.fr/centre-de-nanofabrication-cnf/

Pour plus d'information sur la nanofabrication, cliquer ICI pour télécharger le contenu

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